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机译:边缘场对垂直梳齿机静电力影响的研究
Else Gallagher; Walied Moussa;
机译:垂直梳齿驱动中边缘场对静电力影响的研究
机译:静电梳状驱动致动器中使用的成角度的梳齿设计增强了静电力产生能力
机译:一种基于新的MEMS基于MEMS的可变电容,使用静电垂直梳驱动致动器和辅助悬臂梁
机译:静电MEMS梳子驱动致动器垂直悬浮力的有限元分析
机译:静电梳齿驱动器,用于谐振传感器和执行器应用。
机译:在直接场效应和边缘场效应下固定的微束中的静电力
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。
机译:垂直梳状驱动型静电致动器,用于超大型望远镜,具有两个电极组,它们从静止位置到最大位置相对移动,即使在静止位置,电极也部分或电重叠
机译:带有垂直静电梳状驱动器的二维万向扫描执行器,用于执行和/或感应
机译:多层自对准垂直梳状驱动电动执行机构和制造方法
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